全自动石英晶圆分析仪 石英晶体X射线衍射仪
报价 ¥80万 - 100万
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德国弗莱贝格仪器Quatrz XRD——石英晶体X射线衍射仪主要应用于对石英棒、硅片和坯料进行生产质量控制。而根据样品对象的不同，Quatrz XRD可以分为Quatrz Bar XRD、Quatrz Wafer XRD和Quatrz Blank XRD，即全自动石英棒定向仪、全自动石英晶圆盘分析仪和全自动石英晶片分选仪三种型号。
全自动石英棒定向仪▼
样品：石英棒
特点：
完全自动化的吸收和校准石英棒
自动上胶转接器板
校准精度：±0.5°(AT & TF)
全自动石英晶圆片分析仪▼
样品：
圆形，长方形和正方形
4 x 4毫米至80 x 80毫米(人工处理样本)
20 x 20毫米至80 x 80毫米(自动样本处理)
特点：
空间质量检查的映射图选项
模块化设计，支持未来的自动化升级
用于输入/输出的标准样品盒：盒式或叠式
可用排序函数
产量：在标准分选精度下，可高达350片/小时
全自动石英晶片分选仪▼
样品：
圆形，长方形和正方形
4 x 4毫米至12 x 12毫米(手工处理样本)
1.5 x 1.5毫米至3.0 x 6.0毫米(自动化选项一)
4.0 x 4.0 mm至9.0 x 9.0 mm(自动化选项二)
特点：
质量分组：±7.5 arcsec
吞吐量：在标准分拣精度下，每小时可处理高达1000个晶片
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