MDPinline高速晶圆片在线面检测仪 -- 一秒内完成晶
报价 ¥80万 - 100万
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MDPinline是一种用于快速定量测量载流子寿命并集成扫描功能的检测仪。通过工厂安装的传送带将晶圆片移至仪器，在不到一秒的时间内，就可以“动态”测量出晶圆图。该仪器可为每个晶圆片提供完整的拓扑结构，极大提高了生产线的成本效益和效率。且其实时质量检测可以提高和优化诸如扩散和钝化等处理步骤。
产品优势▼
在不到一秒的时间内，可对一个晶圆片进行全电特性测试。测量参数：载流子寿命(拓扑图)、电阻率(双线扫描)。
在非常短的时间内获得数以千计的晶圆片的统计信息可有效地帮助晶圆厂控制过程和生产。
适用于测量晶圆片的材料质量，以及识别晶圆片层面的结晶问题，例如在光伏行业。
适用于扩散过程的完整性控制、钝化效率和均匀性控制。
Si3N4 and SiC segregates in multi-crystalline silicon
Microcrystalline inclusions
Investigation of passivation quality...
Cz-Si with bulk defects, separation...
Multicrystalline silicon wafers
技术参数
样品厚度 | 100 μm up to 1 mm |
样品尺寸 | 在125 x 125 和210 x 210 mm2 之间，或 4”到18” |
电阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
传导类型 | p, n |
材质 | 硅晶圆，部分或完全加工的晶圆片，化合物半导体等 |
测量性能 | 少数载流子寿命（稳态或非平衡(μ-PCD)可选择的） |
测量位置 | 默认2.8 mm， 其它可选 |
检测时间 | 获得完整的一张晶圆图时间小于1秒 |
尺寸 | 400 x 400 x 450 mm，重量：29 kg |
电源 | 24 V DC, 4 A |
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少子寿命检测在SiC领域的应用半导体 2022-06-15
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