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URE-2000S/25S 型双面光刻机
技术参数
。曝光面积：4 英寸（或 6 英寸）
。曝光波长：365nm： 40mW/cm，405nm：20-40mW/cm2
。分辨力：1 μm
。正面对准采用双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍
物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
。底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 10mm-148mm
。对准精度：±2.5μm（双面，片厚 0.8mm）,± 0.6μm（单面）
。掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸（6 英寸配置）
。样片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸（6 英寸配置） ，厚度 0.1mm--2mm
。曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
。照明不均匀性： 3%（ Ф100mm 范围），5%（ Ф150 mm 范围）
。掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度
。汞灯功率：350W（直流，进口）
。最大胶厚：350 μm （SU8 胶，用户提供检测条件）
。光源平行性：3.5°
外形尺寸：1300mm（长）x1000mm(宽) x1800mm（高）
配置
（1）曝光头（两套）
。冷光椭球镜
。350 W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
。XYZ 汞灯调节台
。冷却风扇
。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜1、冷光反射镜 1、反射镜 2
（2）对准工件台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构,自动完成
。样片调焦机构，气缸自动调
。承片台：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸（6 英寸配置）
。掩模夹：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸（6 英寸配置）
（3）双目双视场对准显微镜（可以选择带 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）
。光源、电源
。双目双视场对准显微镜主体
。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）
。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）
。CCD 光学系统（选配件）26
。XYZ 底面对准工件台
（4）底面 CCD 对准系统
。光源、电源
。成像光学系统
。数据采集卡
。CCD
（5）电控系统
。汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制柜桌
。计算机系统（21 英寸宽屏液晶显示器）
（6）气动系统
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪表
（7）其他附件
。真空泵一台（无油泵）
。空压机一台 （音静泵）
。管道
1年
否
无
免费安装及技术培训
6个月一次。
经确认质量问题，免费更换。
24小时内到达现场并开始维修
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