美Sonix 超声波扫描显微镜 ECHO-VS,是专为更高精度要求,更复杂元器件设计的新一代设备, 扫描分辨率小于1微米
ECHO-VS 超声波扫描显微镜
SONIX ECHO VS™ 是专为更高精度要求,更复杂元器件设计的新一代设备。广泛应用在 Flip chips,Stacked die,Bumped die,Bonded wafers 等。
● 高分辨率下,扫描速度是传统超声波扫描显微镜的2.5倍
● 独有的波形模拟器(Waveform Simulator)及波束仿真(Beam Emulator)
● 扫描分辨率小于1微米
● 水温控制系统及紫外杀菌系统超高频状态工作下,信号更稳定