丘山仪器 RM150A 全自动四探针电阻测试仪
报价 ¥10万 - 50万
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全自动
1 μΩ~1 MΩ
<0.01%(最优值)
1 E-6~100 E6 Ω*cm
<0.01%(最优值)
150mm*150mm
1A, 100mA, 1A, 100mA, 10mA, 1mA, 100μA, 10μA, 1μA, 100nA
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RM150A 扫描四探针测试仪
RM150A是专为科学研究设计的扫描四探针电阻测试仪，可以对不超过150mm的样品（或6英寸晶圆）进行快速、自动的扫描，获得样品不同位置的方阻/电阻率分布信息。探针头借鉴了机械钟表机芯制造工艺，使用红宝石轴承引导碳化钨探针，确保高机械精度和长使用寿命。动态测试重复性（接近真实场景）可达0.2%，为行业前沿水平1 μΩ~1MΩ的超宽测量范围可涵盖绝大部分应用场景，可广泛适用于光伏、半导体、合金、陶瓷等诸多领域。
● 特性
* 全自动多点扫描：多种测试方案供选择，也可以自定义测试方案
* 手动任意点测量：只需提供坐标，一键测量
* 精密探针头：镶嵌红宝石轴套的探针头，保证测量的机械精度、稳定性和寿命
* 超宽测量范围：1 μΩ~1 MΩ
* 样品尺寸： 150 mm*150 mm*5 mm
* 测量速度： 2 秒/点
* 测量精度： <±1%
* 重复性(1σ)： <±0.2% （ITO标样动态测试）
* 数据可视化： 彩色编码图
* 数据自动存储：存储为EXCEL文本格式，便于后期数据分析
● 应用
* 半导体及太阳能电池（单晶硅、多晶硅、非晶硅、钙钛矿）
* 液晶面板（ITO/AZO）
* 功能材料（热电材料、碳纳米管、石墨烯、银纳米线、导电纤维布）
* 半导体工艺（金属层/离子注入/扩散层）
● 定位精度
* 绝对定位精度：50 μm
* 重复定位精度： 5 μm
* 位移分辨率： 1 μm
● 探针头参数
* 探针间距：1.00 mm
* 探针材料：碳化钨
* 探针压力（可选）：4 N（±1N)
* 机械游移：< 0.3%
* 宝石轴承内孔与探针间距：< 6 μm
● 重复性测试
● 外观尺寸（长*宽*高）
552mm * 520 mm * 300 mm
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 电子科技大学 | 2023-02-02 |
| 中科院物质结构研究所 | 2021-11-02 |
1年
是
有
2人次安装现场培训
6个月1次
非人为损坏免费更换零部件
报修12小时内工程师与客户联系
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