Filmetrics的薄膜电阻测量设备开发源自于有着超过30年经验的KLA的薄膜电阻计量技术,并由20年台式测量设备开发经验的Filmetrics团队完善了桌面式方块电阻测量产品。KLA薄膜电阻测量技术包括接触(4PP)和非接触(EC)方法。
优势 :
1)接触式四点探针(4PP)和非接触式电涡流(EC)
2) 100mm Z行程,高精度控制
3)导体和半导体薄膜电阻,10个数量级范围适用
4)测试点自定义编辑,包括矩形、线性、极坐标 以及自定义配置
5)100mm和200mm XY电动平台可选
6)RSMapper软件灵活易用
7)兼容KLA所有电阻测试探针
应用市场:
1)半导体
2)化合物半导体
3)先进封装
4)平板和VR显示
5)印刷电路
6)穿戴设备
7)导电材料
8)太阳能
1年
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有
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