立式PECVD设备
,在基片上沉积出所期望的薄膜,此立式PECVD设备由真空立式管式炉、射频电源、供气系统、石英真空室、真空测量系统组成。
PECVD系统配置:
1.1200度开启式滑动单温区真空管式炉
2.等离子射频电源
3.多路质量流量控制系统
4.真空系统
产品特性:
此立式PECVD设备温度范围宽;溅射区域长;整管可调;精致小巧,性价比高,可实现快速升降温,是实验室生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等的理想选择。立式PECVD系统以含钼电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。
1年
是
有
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1年
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