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使用本公司独创的光子晶体技术开发的偏光滤光片集成元件，可以即时、高密度地获取通过转动偏光滤光片获得的信息。
通过将透过透明材料的光进一步通过该集成元件并获取它，可以评估用于掩模的玻璃晶片的加工变形和复合晶片的缺陷密度。
◆相位差/内部失真的定量评估 ◆数秒钟内获得 100 万个平面内分布
◆支持从微米到毫米的测量尺寸 ◆支持高相位差测量范围
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