仪器对比
关注
进口
以往的椭偏仪是单点测试，因此要取得整面膜厚均匀性数据是需要N个小时的工作，而且最小的测量分辨率就是激光光斑大小，也就是说，无法取得微小区域的膜厚分布数据。
ME-210是采用独自开发的微小偏光阵列片来克服上述两大问题的设备。
ME-210能做的就是：
能以快速取得最大12inch基板上的膜厚分布
能以高分辨率取得微小区域的膜厚分布（设备最高分辨率为5.5um*5.5um）
设备软件具有模拟功能，因此能比对模拟值与实际值来评估成膜工艺
透明基板的膜厚测量
技术参数：
光源--typ，636nm，Class2
设备最高分辨率--5.5*5.5um
入射角--70°
测量再现性--膜厚0.1nm、折射率0.001
设备最块测量速度--5,000个点/min
载物台--标准φ8inch、选配φ12inch
售后服务
1年
否
有
1人
无
免费维护
电话联系后尽快安排日程
- 相关仪器
PHL膜厚测量椭偏仪 ME-210（-T）信息由深圳菱光社貿易有限公司为您提供，如您想了解更多关于PHL膜厚测量椭偏仪 ME-210（-T）报价、型号、参数等信息，菱光社客服电话：400-860-5168转4332，欢迎来电或留言咨询。
相关产品
