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俄罗斯Optosystem CL7000准分子激光器
特点
1、陶瓷放电激光腔设计，长寿命
2、激光腔，电子系统一体化设计
3、功率稳定运行模式
4、预混合供气，使用简单
5、计算机控制
CL7000系列技术参数
型号 | ArF | KrF | XeCl |
波长 | 193 nm | 248 nm | 308 nm |
管材料 | 陶瓷 | ||
预电离 | 火花 | ||
标准脉冲能量 | 250 mJ | 400 mJ | 300 mJ |
平均功率 |
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最大重复频率 |
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脉宽 | 17 ns | 20 ns | 20 ns |
脉冲稳定度 | sigma < 2% | ||
光斑大小 | 6 x 20 mm | 6 x 21 mm | 7 x 22 mm |
光束发散角 | 1.5 x 4.5 mrad | ||
时间抖动 | < 2 ns | ||
尺寸, (重量) | 1350L x 375W x 710H мм (170 kg) | ||
冷却 |
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功率 |
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气体 | 1 premix cylinder | ||
控制接口 | RS 232, DOS/Windows | ||
1年
是
有
免费安装培训
质保期内免费仪器保养
质保期内免费非人为损坏免费维修
24小时内到达现场并维修
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