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• 采用散斑图的影像相关测量。• X-Y位置的同步非接触式测量。
• 纳米级分辨力的测量。• 适于工作台位置重复性的应用。• 能够测量零件的轻微变形和弯曲。
货号 | 549-701 |
型号 | MICSYS-SA1 |
检测方式 | 激光散斑图像相关 |
有效测量范围 | ±100 um (2D) |
分辨力 | 1nm |
精度(20°C) | ±100nm |
数据更新频率 | 20HZ |
标准附件 | 测量用标靶，数据收集用筒易软件(CD-ROM) |
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