日本RION 液体光学颗粒度仪:KS-41A ( 光阻专用)
可检测光阻产品、SOG 等产品中 0.15um 的颗粒。
光源:镭射二极管(波长830nm,额定输出200mW)
接触样品部件材料:人造石英 PFA
流量:10mL/min
设定范围:0.15μm~0.5μm,通过 KE-40B1 的控制器可扩充至 10 个通道
粒径范围(4个通道,出厂默认):≥0.15μm, ≥0.2μm , ≥0.3μm , ≥0.5μm
最大粒子数浓度:1 200 颗/L (误差值低于5%)
采样管直径:外径:φ16mm, 内径:φ12mm
电源:DC12V,(由KE-40B1供应)
尺寸和重量:约:H160*W300*D251 (mm), 约重7.5kg
综合泄漏传感器与报警输出
? 客户可在此测量范围内自行选择粒径通道(通过 KE-40B1)
1年
否
无
免费安装及技术培训
6个月一次。
经确认质量问题,免费更换。
24小时内到达现场并开始维修
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