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GLFs-BMH系列飞秒激光加工系统，主要是针对利用贝塞尔光束技术加工的应用，如微孔加工。该系统配置空间光调制器进行光束整形，通过软件控制，产生的贝塞尔光束可实现高品质、大深径比的微孔加工。系统可应用于如航空航天燃气涡轮叶片上的气膜微孔、 高灵敏度传感器微孔结构、高灵敏器件的通孔制备、柔性电路板、发动机喷油嘴微孔等方面的加工的工艺探索研究。
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3年
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