百及纳米ParcanNano电子束光刻机P21（多功能超高精度电子束光刻机P21）

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品牌

百及纳米

型号

P21

产地

欧洲德国

应用领域

暂无

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

营业执照已认证

金牌会员
第5年
一般经销商

核心参数

产地类别：进口

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产品详情

电子束光刻机（多功能超高精度电子束光刻机P21）

依托垄断性专利技术，百及纳米推出国际领先的超高精度大面积写场电子束光刻机 P21 系列。百及纳米首次开发了新一代电子束光刻机的电子束闭环控制新原理。百及超高精度电子束光刻机 P21 是第一款新一代电子束光刻机的代表，在著名电子束光刻机制造商德国 Raith 公司的成熟机型上升级而成。该系列主要包括 P21-2，P21-4 和 P21-6 三个型号，区别主要在于样品尺寸（2，4，6 英寸晶圆）及扩展使用功能。P21 不仅完整地保留了原电子束光刻机的整体功能，且集多项国际领先的关键指标于一身，包括：

• 国际上首次开发的新颖电子束闭环控制系统，能够实现电子束的原位检测与校正;

• 国际领先的写场拼接精度≤2 nm;

• 电子束光刻的长期稳定性。精确校正电子束的空间漂移，将其位置稳定性提高到≤10 nm/h；有利于通过提高电子束光刻时间实现大尺寸图形的曝光需求。

百及纳米的 P21 系列以常规电子束光刻机为载体，通过独家专利技术对其进行功能及性能指标的大幅提升。P21 光刻机组件均为德国原装制造，以高品质、高性能满足客户的科研高端需求，实现新一代超高精度电子束光刻功能。

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售后服务

保修期： 1年

是否可延长保修期：否

现场技术咨询：无

免费培训：免费安装及技术培训

免费仪器保养： 6个月一次。

保内维修承诺：经确认质量问题，免费更换。

报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修

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