日本SAMCO PD-4800等离子体增强的化学气相沉积系统
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日本SAMCO PD-4800等离子体增强的化学气相沉积系统
PD-4800是一种等离子体增强的化学气相沉积系统，能够沉积二氧化硅，氮化硅，和 非晶硅
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