晶圆激光刻号机

晶圆刻号打码机

产品介绍

是专业化的晶圆激光刻号打码专用设备，适用于2-8英寸晶圆的软打标、硬打标作业。

支持OCR字符和点阵字符，

适用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的软打标、硬打标。

全自动生产 可加工2〞-  6〞、4〞-  8〞、8〞- 12〞晶圆

工业级激光器，稳定可靠，免维护

光束质量好，标识精细，可读性好

操作界面友好，使用方便 ，

无需外接水冷机

应用范围：

2-8英寸晶圆的软打标、硬打标

适用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的刻号、打码。

技术规格                             项目                          单位                           数值

最大加工尺寸                  晶圆尺寸                       inch                           6英寸

激光器功率                      激光器出口处                w                               20瓦

激光器波长                      红外光纤激光器             nm                          1064纳米

                                      定位精度                       mm                          0.05毫米

                                       重复精度                       mm                         0.02毫米

振镜                                最大扫描速度                mm/s                       7000毫米/秒

                                       振镜类型                      数字/模拟                 高速数字式振镜

                                       最大负载                      Kg                            1.5千克

协作机械手                      最大臂长                      mm                           400毫米

                                       重复精度                      mm                          正负0.03毫米

                                       Z向行程                        mm                         210微米

                                       电源                             AC                   两相220~240V 50HZ

                                       最大耗电量                   Kw                           1.5千瓦

                                       单独接地电阻                Ω                             小于4欧

                                       共用接地电阻                Ω                             小于1欧

                                       压缩空气供给压力         MPa                         0.5~0.8兆帕

                                       厂务真空供给                Kpa                         -0.6千帕

其他规格                          排风口口径                   mm                           50毫米