特征
1.晶圆尺寸50~150/200(mm)(其他可根据要求提供)
2.真空吸盘旋转90度。
3.X/Y轴直线滑动平台。(其他可根据要求提供)
X轴的最大长度为150mm,分辨率为5um,其被显示在屏幕上。
Y轴的最大划线长度为150mm。
Z轴最大调整长度为10mm,分辨率为10um。
4.夹头的角度可以稍微调整一下。
调整角度为0.006~4度
5.划线压力可调
下行压力约为5~600g(其他可根据要求提供)
6.金刚石刀具自动下降
7.触地跌落升降机设计
8.角度金刚石工具可略微调整
调整角度为45度
选配
真空泵
1年
否
无
1次线上培训
无
因产品质量问题免费保修(各种消耗品除外),仪器提供全面维护,使之处于正常工作状态
产品质保期内本公司提供36小时内的维修服务响应(除节假日外),以最快的速度派遣
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