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SG-A系统是世界第一个用于CMOS图像传感器测试仪。可以提供最全面的CMOS图像传感器参数表征,如全谱量子效率QE、整体系统增K、时间暗噪声、信噪比、绝对灵敏度阈值、饱和容量、动态范围、DSNU、PRNU、线性误差和主光线角CRA。被测设备可以是多种类型的CMOS图像传感器模块。检验程序符合EMVA 1288标准。因此,SG-A CMOS图像传感器测试仪可以于晶圆级光学检测、工艺参数控制、微透镜设计、微透镜验证。SG-A CMOS图像传感器测试仪的高度准直光束(<1°)可以克服传统光学传统(如积分球系统)无法解决的新制造工艺的检测难题。这些工艺包括小像素(< 1 um)、BSI和3D堆叠、微透镜、新的拜耳阵列设计等。
特性:
无损光学检测。
高度准直樑角 / 高准直波束角 <0.05 度, <0.1 度, <0.5 度 ,<1 度, <3 度 (不同型号)
高均勻光束点:≥ 99%。
光的不稳定性≤1%。
高动态范围测试能力:80dB ~ 140dB(不同型号)。
可测试 CMOS 图像传感器参数:量子效率、光谱响应、系统增益、灵敏度、动态范围、暗电流 / 噪声、信噪比、饱和容量、线性误差(LE)、DCNU(暗电流非均勻性)、PRNU(光响应)非均勻性)、CRA(主光线角)。
全光谱波長范围:300nm – 1100nm 或 350nm ~ 1000nm(PTC)。
波长可扩展至 1700nm 以上。
DUT 封裝:CIS 模块,PCB 板级,CIS 摄像头,有 / 无微透镜。
SG-A 和 DUT 之间的 “直接” 或 “握手” 通信協议。
定制的測试夾具和平台(手动或自动,最多 6 軸)。
強大的分析软件 ARGUS®。
应用:指纹识別(CIS + Lens、CIS + 准直器、TFT-array sensor)CIS 微透镜设計、晶圆级光学检测、CIS DSP 芯片算法开发、Si TFT 传感器面板、Time-of-Flight 相机传感器、Proximity 传感器(量子效率、灵敏度、线性度、SNR 等)、d-ToF 传感器、i-ToF 传感器、多光谱传感器、环境光传感器 (ALS)、显示屏下指纹 (FoD) 传感器。
可针对影像传感器,或影像探测器晶片或模组进行以下参数量测
量子效率 Quantum efficiency) | 系统增益 Overall system gain) | 暂能暗杂讯 Termporal dark noise) | 信号杂讯比 Signal to noise ratio | 绝对灵敏度阈值 Absolute sensitivity threshold |
饱和容量 Satuation capacity | 动态范围 Dynamic range | 空间非均匀性(暗像素偏移,亮像素 偏移)Spaturation nonuniformity(DSNU,PRNU) | 线性度误差 Linearity error | 主光线角 CRA |
1年
是
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