一、SPS(POLOS)公司介绍
SPS(POLOS)旋涂机主要用于利用向心力制造厚度低于 10 nm 的均匀高质量厚度的薄膜。通常,您在半导体晶圆上旋转涂光刻胶,但我们的POLOS旋涂机也用于旋涂聚合物薄膜,如嵌段共聚物(BCP),如PDMS和PMMA,或作为低成本的溶胶-凝胶方法,例如旋涂ZnO薄膜。同时,POLOS旋涂机提供无限的工艺:在触摸屏上轻松直观的编程,无限的程序/步骤和图形表示。以及可重复的旋涂工艺,一次又一次。这使得POLOS旋涂机成为您可以买到的最好的实验室旋涂机
二、SPS(POLOS)型号介绍
SPS(POLOS) Part nr: 41096 POLOS SPIN150i
PS(POLOS) Part nr: 41387 POLOS SPIN200i NPP
SPS(POLOS) Part nr: VP-230V Vacuum Pump (Oil-less)
SPS(POLOS) Part nr: 27852
SPS(POLOS) Fragment Adapter (D-V2.5-S50-PP)
二、SPS(POLOS)产品分类
SPS(POLOS) 旋涂机
易于安装、可重复的旋涂
SPS(POLOS)无掩模光刻
最高精度的纳米结构
SPS(POLOS)面罩矫正器
高产值和用户友好
SPS(POLOS)电炉
精确的温度控制
电影表征
超快速和准确的晶圆映射
光刻胶
适用于永久性应用
喷涂机
高精度纳米颗粒涂层
晶圆处理
安全运输和储存您的晶圆
补充设备
您可能需要的其他工具
三、SPS(POLOS)产品介绍
1、SPS(POLOS)旋涂
POLOS旋涂机提供无限的工艺:通过大型彩色触摸屏控制器进行简单的分步配方编程,USB连接或从您自己的PC下载,无限的程序/步骤和图形表示。它们还提供可重复的旋涂工艺,一次又一次。可作为单台台式晶圆旋涂机提供,但我们也提供全系列湿站解决方案。联系我们获取更多信息!
德国SPS(POLOS)型号介绍:
德国SPS(POLOS)旋涂机150 毫米
德国SPS(POLOS)200 毫米
德国SPS(POLOS)300 毫米
德国SPS(POLOS)450 毫米
德国SPS(POLOS)>500 毫米
四、SPS(POLOS) 产品介绍
SPS(POLOS) 单晶圆旋涂机SPIN200i分为:天然聚丙烯
聚四氟乙烯两种材质
POLOS SPIN200i 单晶圆旋涂机是一种先进的系统,可提供精确、可重复的过程控制。不言自明的图标使其易于操作,即使对于新用户也是如此。
Ø200 mm 或 6“ x 6” 方形基板
材料:天然聚丙烯(NPP)
标准系列
POLOS SPIN200i是一款多功能的高质量基材旋涂机。它专为研发和小批量生产而设计。空气动力学高效的腔室增强了均匀性,而天然聚丙烯或 PTFE 结构确保了易于清洁的无金属、无污染的工艺区域。用于手动或自动(可选)化学品分配的桌面版本。
适用于涂层、清洁、漂洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI 和其他工艺
SPS(POLOS) 规格:
高达 8“ (200mm) 晶圆
高达 6“ x 6” (150mm) 方形基板
材料:天然聚丙烯(NPP)
通过大型彩色触摸屏进行简单的分步配方编程
带注射器支架的透明盖子,用于中央分配
电磁安全盖锁
N2扩散器,用于在过程中清除N2
12.000 rpm(取决于基板/卡盘)
高加速度和高精度
手动化学品分配
CW 和 CCW 轮换
(可拆卸)带有可自定义图标的彩色触摸屏
无限的程序存储,每个配方有多个步骤
接口
1年
否
有
视频远程培训
12个月
在保修期内,所有服务及配件全部免费
产品邮寄到elma售后维修部进行检测维修
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