德国SPS(POLOS) spin 150x新款旋涂仪用于实验室使用
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12.000
高精度
1-30.000
6” /150 mm
4” x 4” 100 mm
德国SPS(POLOS) spin 150x新款旋涂仪用于实验室使用
一、SPS(POLOS)公司介绍
SPS(POLOS)旋涂机主要用于利用向心力制造厚度低于 10 nm 的均匀高质量厚度的薄膜。通常，您在半导体晶圆上旋转涂光刻胶，但我们的POLOS旋涂机也用于旋涂聚合物薄膜，如嵌段共聚物（BCP），如PDMS和PMMA，或作为低成本的溶胶-凝胶方法，例如旋涂ZnO薄膜。同时，POLOS旋涂机提供无限的工艺：在触摸屏上轻松直观的编程，无限的程序/步骤和图形表示。以及可重复的旋涂工艺，一次又一次。这使得POLOS旋涂机成为您可以买到的的实验室旋涂机
二、SPS(POLOS)型号介绍
SPS(POLOS) Part nr: 41096 POLOS SPIN150i
SPS(POLOS) Part nr: 41387 POLOS SPIN200i NPP
SPS(POLOS) Part nr: VP-230V Vacuum Pump (Oil-less)
SPS(POLOS) Part nr: 27852
SPS(POLOS) Fragment Adapter (D-V2.5-S50-PP)
二、SPS(POLOS)产品分类
SPS(POLOS) 旋涂机
易于安装、可重复的旋涂
SPS(POLOS)无掩模光刻
精度的纳米结构
SPS(POLOS)面罩矫正器
高产值和用户友好
SPS(POLOS)电炉
精确的温度控制
电影表征
超快速和准确的晶圆映射
光刻胶
适用于永久性应用
喷涂机
高精度纳米颗粒涂层
晶圆处理
安全运输和储存您的晶圆
补充设备
您可能需要的其他工具
三、SPS(POLOS)产品介绍
POLOS SPIN150x
POLOS SPIN150x 是一种多功能、高质量的基底
旋涂机，由 NPP 制成。它专为研发和小批量生产
而设计。台式型号可手动或自动（可选）分配化学
品
POLOS SPIN150x腔体规格
外壳材质 天然聚丙烯（NPP）
底物直径 可用 6” (150 mm) 晶圆
可用 4” x 4” (100 mm) 底物
POLOS SPIN150x适用范围:
• 涂层
• 清洗冲洗/烘干
• 显影
• 刻蚀
• PDMI
• 其他程序
POLOS SPIN150x硬件规格：
液体过滤疏水阀
•
• 独特的外壳和排水管设计，可切换桌面和Indeck模式
用于注射器或喷嘴的中心注射支架
• 盖锁和真空传感器确保用户安全
• 大尺寸触摸显示屏（可拆卸）
• USB 端口，用于在 USB 驱动器上存储配方和进行软件
更新
POLOS SPIN150x驱动装置规格：
• 间接无刷驱动装置
• 转速高达 12.000 RPM（取决于底物/卡盘）
• 高加速度、高精度
• 加速/减速 1-30.000 RPM
• 顺时针、逆时针旋转和漩涡选项
德国SPS(POLOS) spin 150x新款旋涂仪用于实验室使用
1年
否
有
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12个月
在保修期内，所有服务及配件全部免费
产品邮寄到elma售后维修部进行检测维修
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