1.产品概述:
AC200-PE充氮型程控烤胶机是一款门设计的烤胶设备,主要适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、镀膜、薄膜、光学及表面涂覆工艺等域。以下是对该设备的详细介绍:
2.产品特点:
充氮保护:在普通烤胶机的基础上增加了密封盖和氮气注入口,确保氮气能够均匀通入烤胶机内部,形成惰性气体保护气氛,有效防止烤胶过程中的氧化反应,保护基片表面质量。
高精度控温:采用高精度数显温控表控制,升温速率可控,可编辑多段温度曲线,确保烤胶温度的精确控制。
优良的热均匀性:设备内部设计合理,能够确保加热板面的温度均匀性,保证烤胶效果的一致性。
安全性高:设备四周装有防烫护栏,降低事故发生率;同时,加热输出独立电路控制,提高了设备使用安全。
可视化操作:设备盖子带可视窗,实验过程可实时监测产品变化,便于操作人员掌握烤胶进程。
3.技术参数:
型号:AC200-PE
控温范围:可根据具体需求定制,如室温250℃、室温300℃、500℃、600℃、800℃等。
加热面板尺寸:适合大8”圆晶,加热面板尺寸可能因型号而异,具体以实际产品为准。
控温方式:自适应PID控制,确保温度控制的准确性和稳定性。
温度分辨率:0.1℃
控温精度:±0.2℃
温度均匀性:≤±1%(板面9点或12点温度差)
真空度:可根据配置不同达到不同的真空度,如普通机械泵可达到10-1Pa,分子泵可达到10-3Pa。
电源输入:AC220V,具体电流需求根据设备功率而定。
加热功率:根据设备型号和配置不同而有所差异。
4.应用域:
AC200-PE充氮型程控烤胶机广泛应用于半导体硅片/晶片、ITO导电玻璃、光学玻璃、生物薄膜、制版等工艺加热过程中,特别适用于需要惰性气体保护环境的烤胶工艺。
5.操作注意事项:
在使用,应仔细阅读设备说明书,了解设备性能、操作规程及安全注意事项。
操作过程中,应严格按照设备操作规程进行,避免误操作导致设备损坏或安全事故。
设备在使用过程中,应定期进行检查和维护,确保设备处于良好状态。
在进行烤胶工艺时,应根据具体工艺要求选择合适的温度、时间和氮气流量等参数。
60天
1年
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