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设备处理6” 硅片 。
所 有 设备 的 零 部 件 应 该都 足 STS以 及 Multiplex ICP的 标 准 件 。
供 应 商 应 该基 于 业 内的 标 准 装 机 程 序 进 行 设备 的 安装 和 调 试 。
30天
1年
提供付费培训
到货后7天内
24小时内
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维修图纸；技术参数；维修手册
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