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干法刻蚀设备 APIOS NE-950EX
对应LED量产用的干法刻蚀设备｢NE-950EX｣相对我司以往设备实现了140%的生产力。是搭载了ICP高密度等离子源和爱发科自有的星型电的干法刻蚀设备。
产品特性 / Product characteristics
• 4inch晶圆可放置7片同时处理，6inch晶圆可实现3片同时处理，小尺寸晶圆方面，2inch晶圆可实现29片、3英寸可对应12片同时处理。
•搭载了在化合物半导体域拥有600台以上出货实绩的有磁场ICP（ISM）高密度等离子源。•高生产性（比以提高140%）。※1 爱发科利第3188353号•为防止RF投入窗的污染搭载了爱发科星型电。※2 爱发科利第3429391号•贯彻Depo对策，实现了维护便利、长期稳定、高信赖性的硬件。•拥有丰富的工艺应用的干法刻蚀技术（GaN蓝宝石、各种metal、ITO、SiC、AlN、ZnO、4元系化合物半导体）。•丰富的可选机能。产品应用 / Product application
• 对应LED的GaN、蓝宝石、各种金属、ITO等的干法刻蚀设备
产品参数 / Product parameters
1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年（公司成立年）
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额
售后服务
60天
1年
安装调试现场免费培训
干法刻蚀设备信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于干法刻蚀设备报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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