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对应光学器件、MEMS制造的干法刻蚀装置NLD-5700
对应光学器件、MEMS制造的干法刻蚀装置NLD-5700是搭载了磁性中性线（NLD- neutral loop discharge）等离子源的量产用干法刻蚀装置。（可实现产生低压、低电子温度、高密度的等离子）
产品特性 / Product characteristics
• 在洁净房内作业可扩张为双腔。（可选配腔室：NLD、有磁场ICP、CCP或者去胶室）
•NLD为时间空间可控的等离子，因此设备干法清洁容易。•腔体维护简便。•从掩模刻蚀到石英、玻璃刻蚀，可提供各类工艺解决方案。•门的半导体技术研究所会提供完备的工艺支持体制。产品应用 / Product application
- •光学器件（折射格子、光波导、光学开关等等）、凹凸型微透镜。•流体路径作成或光子学结晶。
产品参数 / Product parameters
1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年（公司成立年）
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额
售后服务
60天
1年
安装调试现场免费培训
干法刻蚀装置信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于干法刻蚀装置报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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