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晶圆尺寸Wafer size：2“-12”；
涂胶（Coater）、显影（Developer）、OVEN(HP+CP+HMDS);
匀胶、显影模块自带暂停和恢复功能；
同片盒站每个硅片可分别制定不同工艺运行；
设备和各工位全封闭设计，不受外环境干扰；
可独立增加层流罩（FFU）,提升小环境洁净度；
干湿分离，温湿度控制系统选配（THC），将系统内部的湿度和温度维持在一定范围内；
维护省力、方便、简便。
售后服务
180天
3年
提供付费培训
到货后3天内
12小时内
是
7天内
2"-12"全自动匀胶显影机信息由陕西爱姆加电子设备有限公司为您提供，如您想了解更多关于2"-12"全自动匀胶显影机报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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