纳米压痕仪
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NanoFlip纳米压痕仪可在真空和气氛条件下,准确、精密地进行硬度、模量、屈服强度、刚度和其它纳米力学性能的测试。无论在扫描电子显微镜(SEM)或是聚焦离子束(FIB)系统中,NanoFlip均可出色完成微柱压缩等测试,并将SEM图像与力学测试数据同步。NanoFlip是一款紧凑、灵活的原位纳米力学测试仪,其测试速度快,这对于在惰性条件下(例如手套箱中)测试非均质材料至关重要。基于InForce 50电磁力作动器等多种可用功能选项,可获取定量结果,为材料研究提供有价值的解决方案。
NanoFlip配备高精度的XYZ移动马达,以定位样品进行测试,并配备翻转机构,以定位样品进行观察成像。InView软件标配一套包括多种测试协议的测试方法,且支持用户创建自己独特的测试方法。InForce 50作动器在真空和气氛条件下表现同样出色。InView 软件可以记录SEM或其它显微镜图像,并与力学测试数据同步。革 命性的FIB-to-Test技术容许将样品倾斜90°,实现从FIB到压痕测试的无缝转换,而无需重新安装样品。
InForce 50作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动,且压头易于更换
InQuest高速控制器电路,数据采集速率可达100kHz,时间常数最快为20µs
XYZ运动系统实现样品定位
SEM视频采集实现SEM图像和力学测试数据同步
独特的压头校准系统,集成在软件中,可实现快速、准确的压头校准
InView设备控制和数据处理软件,与Windows®10兼容,可选测试方法开发工具,实现用户自定义实验
硬度和模量测试(基于Oliver-Pharr模型)
连续刚度测量
快速材料力学性能成像
ISO 14577硬度测试
纳米动态力学分析(DMA)
定量划痕和磨损测试
大学、科研实验室和研究所
微柱和微球制造
MEMS:微机电系统
材料制造(压缩/拉伸/断裂测试)
电池和组件制造
硬度和模量测量(基于Oliver-Pharr模型)
NanoFlip纳米压痕仪可测量从超软凝胶到硬质涂层的各类材料的硬度和模量。对这些性能进行高通量的评估,可以为产线提供可靠的质量管理。
连续刚度测量用于量化测定动态材料特性,例如应变速率效应和频率相关特性。NanoFlip纳米压痕仪提供从0.1Hz到1kHz的动态激励,可实时监测数据,以准确确定初始表面接触并连续测量接触刚度随深度或频率的变化。
对于复合材料而言,不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。NanoFlip样品台在X和Y方向上行程可达21mm,Z方向马达行程可达25mm,可以实现不同区域、不同高度样品的测试。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像,可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。
NanoFlip纳米压痕仪包括一个预编程的ISO 14577测试方法,可根据ISO 14577标准测量材料的硬度。该测试方法可自动测量和报告杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化的压痕功。
聚合物是极为复杂的材料。为了获取对聚合物设计有用的信息,应在相应的条件下对相应的样品进行力学性能测试。纳米压痕测试所需样品尺寸小、制备要求简单,更易于实现这种特异性的测量。NanoFlip纳米压痕仪还可在压头与材料接触时振荡压头,实现聚合物复模量和粘弹性的测量。
NanoFlip可以对多种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经受多种工艺流程,例如化学机械抛光(CMP)和引线键合,这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说,重要的是在这些流程中抵抗塑性形变,并保持完好而不从衬底上剥离。
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