卷对卷柔性薄膜沉积设备 MVS
报价 ¥5万 - 10万
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卷对卷柔性薄膜沉积设备
Cassette houses flexible material
卷筒用于装载柔性衬底材料
Cassette transported from one process chamber to another via a robotic handler
制备薄膜时，卷筒可由真空机器手从一个腔室输送至另一个腔室
Advantages 此沉积系统的优点
- Eliminates cross-contamination 在制备多层膜器件时消除了交互掺杂影响
- Flexibility to adjust parameters on any part of the process. 制备薄膜时，能灵活控制各种运转沉积参数
- Down time reduced, i.e. each chamber can be serviced independently 因每个腔室可单独维护，减少了停机非运转时间
Reel to Reel Cassette Cluster tools
Cluster tool w/ 8 port locations
具有8个腔室的团簇型沉积系统
15cm and 30cm webwidth
柔性衬底的宽度可从15cm至30cm
Computer controlled
可完全由电脑程序控制操作运行
PECVD, HWCVD and Sputter capability
制备方式包括等离子体和热丝化学气相沉积，及溅射
(US patent #6,258,408B1)
（本产品获美国专利#6,258,408B1）
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