接触式
国产
0.8-1m
350W 进口直流高压汞灯(进口)
365nm 或 405nm(可切换,更换滤光片)
97%(Φ100mm 范围)
4 英寸
URE-2000/30D 型(定制)紫外光刻机
产品技术规格
2.外形尺寸:约 1400mm(长)900mm(宽) 1800mm(高)
3.配置 设备主要由均匀照明曝光系统、工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设 备构成
1年
否
无
免费安装及技术培训
6个月一次。
经确认质量问题,免费更换。
24小时内到达现场并开始维修
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