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投影式
进口
250nm;300nm
氮化镓激光二极管
375nm;405nm
±0.5%
最大150mm*150mm
PicoMaster ATE-150
PicoMaster ATE-150是一款具有超高精度组件的多功能紫外激光写入器，专为用户提供在感光层中创建最高自由度的微结构而设计。系统的光栅化工作原理，搭配上高速扫描以及可调螺距步进激光头，确保了整个曝光制程在感光层表面准确而稳定地完成。
系统优点
v系统支持高达4095级的灰度、纯二进制模式；
v系统对准精度最高小于250纳米，线宽均匀性小于50纳米；
v系统最大支持6英寸基版，200毫米/秒扫描速度，150x150毫米曝光面积；
v系统采取全封闭结构设计，必需的部件、控制架构和真空泵都在外壳内，便于快速安装；
v系统连接到空气温度调节器机组开始供应空调空气时，内置堆式过滤器将产生干净的交叉气流；
v系统运动平台由机械缓振系统支撑，它将过滤掉绝大多数的噪音振动，以确保工作时的振动最小
v紧凑型光学模块，将整个光路包含其内，这使得光路尽可能地缩短，与传统光学装置相比，其指向稳定性将大大提高；
v为获得最佳的光斑形状，光学模块设计了光束整形光学元件，配合长寿命的405纳米氮化镓激光二极管进行光刻制程；
v搭配拥有自主专利的高数值孔径物镜，这使得市场上最小的高质量激光束光斑成为现实；
v光学模组中，650纳米红色激光控制自动对焦系统可自动校正高度变化。
v选项：可根据要求提供375纳米波长的光学模块替换405纳米光学模组。
v选项：对于要求较低的任务，可通过使用全自动数值孔径开关来选择较大的光斑大小。此开关允许系统使用更大的光斑尺寸来提高直写速度。
v选项：系统配备375 纳米光学模块后，将支持用户使用仅适用于I-line光源的光阻，而光斑尺寸会减小到270纳米，这将允许系统以更高的分辨率写入线条。
| 光学系统 | |
| 直写激光 | 405纳米或375纳米 |
| 激光寿命 | 超过10000个工时，5年以上； |
| 激光强度 | 光斑强度最大3毫瓦，可由软件控制； |
| 灰度控制 | 4095级 |
| 直写模式 | |
| 直写精度 | 0.3微米, 0.6微米, 0.9微米 |
| 曝光区域 | 最大150x150毫米 |
| 基版尺寸 | 最小5x5毫米, 最大160x160毫米 |
| 直写表征 | |
| 线宽尺寸 | 最小0.3微米 |
300天
12月
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到货后5天内
24小时内
否
3天内
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