高分辨热场发射扫描电镜 SU3900/SU3800 SE Series
报价 ¥250万 - 300万
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落地式/传统大型
热场发射
进口
0.9nm@30kV,2.5nm@1kV,1.6nm@1kV(减速)
×5～×600,000（底片倍率）
0.5 kV～30 ｋＶ
SU3900/SU3800 SE系列作为FE-SEM产品，配置超高分辨率与观察能力。此系列突破了传统SEM产品受安装样品尺寸与重量的限制，通过简单的操作即可实现数据采集。可用于钢铁等工业材料，汽车、航空航天部件等超大、超重样品的观察。
此外，SE系列包括4种型号（两种类型，两个等级），满足众多领域的测试需求。用户可以根据实际用途（如微观结构控制：用于改善电子元件、半导体等材料的功能和性能；异物、缺陷分析：用于提高产品品质）选择适合的产品。
产品特点：
热场SEM支持低真空，搭载超大样品仓，可扩展实现更多功能
电子显微镜是进行材料形貌评价与分析的重要手段，而且直接观察样品的需求很常见。
SU3900/SU3800SE系列搭载牢固的多用途样品仓，对于非导电性样品，无需进行导电处理（金属镀膜）；对于超大超重样品，无需进行切割等破环处理，可以直接安装到样品台，实现样品的多角度观察。
【SU3900SE/SE Plus】
ф300mm晶圆安装示例 在使用样品交换仓时
也可以安装高度45mm的样品。
130mm 高金属配件安装示例
具有更高的分辨率和样品极表面信息观察的能力
此系列搭载新开发的热场电子枪，在高、低加速电压条件下，均可获得超高分辨率图像。
高端型号（SE Plus）可以满足对样品极表面的观察需求。
并且，标配的低电压高灵敏度背散射电子探测器，可以获取高质量的样品成分和凹凸信息。
SE系列的探测系统，通过选配的UVD探测器，还可以获得样品多种类型信息，实现多种模式观察。
自动化、辅助功能让操作更便捷
SU3900/SU3800 SE系列配备自动光学系统调整功能，可大量简化操作流程。
此外，使用选配功能【EM Flow Creator】，可以自动连续获取图像。
将条件设置（如放大倍率，样品台位置等）、调整对焦/对比度等SEM功能转化为可组合的模块，生成一系列观察程序。每个客户都可以创建自己的观察程序。
通过拖拽模块，可以像流程表一样创建程序。通过执行创建的程序，即可实现自动观察。
①确定指定区域，以×300倍率拍摄低倍图像
②以×1,000 拍摄同一区域的中倍图像
③以×5,000 拍摄同一区域的高倍图像
应用案例
金属
铁丝断面
可以确认韧性断裂引起的微小孔洞
电子元件
电路板 多层陶瓷电容器横截面
通过低倍率、高倾斜观察，可以确认贴装元件的立体形状及位置 可以观察到镍电极/电介质层的成分和晶体衬度
无机材料
氧化锌颗粒 高熵硬质合金薄膜
可以观察到50 nm 左右的细小颗粒及立体形状 可以观察到不同成分/形状的多个颗粒的分布
电池材料
锂离子电池正极材料 锂离子电池负极材料
可以观察到正极材料颗粒与周围粘合剂的分布 可以观察到负极材料最表面的粘合剂
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