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UV紫外/EUV极深紫外激光光束质量分析仪可实现高分辨率实时空间光束的监测、定量表征与强度分布。主要针对准分子激光器设计，用于所有脉冲或连续波激光器以及非相干光源，覆盖极宽的光谱范围从近红外到软X射线（光谱范围~ 1 …. 1100 nm），检测器CCD芯片上量子转换涂层保证了UV/EUV检测的高灵敏度。
配置各种不同类型的传感器（大/小面积、高度、空间分辨率、灵敏度和动态范围）可适配多种指定测试应用场景。软件支持外围器件（如自适应镜片、步进马达、衰减器、快门或者功率检测等），实现远程或者自动测量。
别名：激光束分析仪、光束质量分析仪、光束分析仪、光斑分析仪、光束形貌分析仪、激光束质量分析仪
主要功能
依据ISO11146 检测光束参数
依据ISO11670 指向稳定性诊断
依据ISO13694 分析光束形状
M²光束质量因子分析
脉冲 to 脉冲波动检测
光束传播和聚焦性能分析
在线激光束检测
激光运行参数优化
Near‐field and far‐field profile of ArF excimer laser
(193nm), indicating 2nd moment beam widths
主要特点
宽光谱范围~ 1 …. 1100 nm (NIR, Vis, UV, EUV)
小面积和大面积CCD传感器可选
USB3.0 or GigE通讯
高动态范围（12/14Bit）
光束测试软件
测试基于ISO标准
Parameter | Standard |
Beam diameter光束直径 | ISO 11146 |
Divergence | ISO 11146 |
Beam profile光束剖面 | ISO 13694 |
Pointing 指向/ pos. Stability位置稳定性 | ISO 11670 |
M2 质量因子/ Focusability聚焦性 | ISO 11146 |
Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布 | ISO 15367 |
Coherence 相干 | - |
Around 20 various camera types are supported |
1年
是
有
3人次技术培训。
3个月1次
免费更好失效硬件，提供免费的技术支持和服务。
24小时到达客户现场。
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