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UV激光光束质量分析仪可实现高分辨率实时空间光束的监测、定量表征与强度分布。主要针对准分子激光器设计，用于所有脉冲或连续波激光器以及非相干光源，检测器CCD芯片上量子转换涂层保证了UV检测的高灵敏度。
主要特点
UV光束特性分析
‐ 准分子激光器 @193nm, 248nm, 351nm
‐ 固体激光器 @355nm, 266nm, 213nm
‐ UV LEDs, UV/VUV lamps
宽光谱灵敏度：VUV ‐ DUV ‐ Vis ‐ NIR
实时光学调节
基于ISO光束参数测量
衰减单元（可选）
Homogenized KrF
excimer laser (248nm)
Mask projection of
excimer laser beam
主要技术规格
波长范围~100nm …1100nm
（<~320nm:高线性和稳定性的量子转换涂层；<190nm: N2/ Ar purging required）
视场尺寸：20mmX14mm（其他尺寸可选）
相机：CMOS 4MPixel, 12 Bit, USB3.0
帧率：up to 15fps
曝光时间：20us to 1s
衰减单元：棱镜衰减器（因子1000：1）
中性密度滤片
Near‐field and far‐field
profile of ArF excimer laser
(193nm), indicating 2nd
moment beam widths
Beam profile of
misaligned 355nm laser
Beam Analysis software
光束测试软件
测试基于ISO标准
Parameter | Standard |
Beam diameter光束直径 | ISO 11146 |
Divergence | ISO 11146 |
Beam profile光束剖面 | ISO 13694 |
Pointing 指向/ pos. Stability位置稳定性 | ISO 11670 |
M2 质量因子/ Focusability聚焦性 | ISO 11146 |
Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布 | ISO 15367 |
Coherence 相干 | - |
Around 20 various camera types are supported |
1年
是
有
3人次技术培训。
3个月1次
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24小时到达客户现场。
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