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国产
电感式
10nm-80μm
2μm,1μm
0.5-50mg
55mm
＜0.5nm
0.05nm满量程
150mm；200mm；300mm
泽攸科技台阶仪JS100B
产品介绍
泽攸科技半自动台阶仪JS100B，国内首创，打破了国外垄断的局面，是半导体国产化进程中不可或缺的一环。拥有高精度、高分解能力，搭配一体花岗岩结构，提供稳定可靠的重复性测量。JS100B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像，可无畸变的观察样品区，方便定位特征区域，同时探针扫描时可实时观察扫描区域。
刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量
薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量
各式薄膜应力测量
3D扫描成像
计划任务和多点扫描
应用领域
产品组成
突破三大核心技术
产品特色
关键技术指标
30天
1年
安装调试现场免费培训
到货后3天内
1小时内
2天内
是
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