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国产
电感式
10nm-80μm
2μm,1μm
0.5-50mg
55mm
＜0.5nm
0.05nm满量程
150mm
泽攸科技台阶仪JS10B
产品介绍
泽攸科技手动台阶仪JS10B，拥有高精度、高分解能力，搭配一体花岗岩结构，提供稳定可靠的重复性测量。JS10B提供一个彩色摄像头对样品和针尖同时成像，可无畸变的观察样品区。方便定位特征区域，同时探针扫描时可实时观察扫描区域。
应用领域
产品组成
突破三大核心技术
产品特色
JS10B台阶仪部分技术指标
名称 | 详细参数 |
| 晶圆尺寸 | ≤150mm |
| 最大扫描长度 | 55mm |
| 重复性测量偏差 | ≤0.5nm（1μm标准块重复扫描30次） |
| 探针加力范围 | 0.5-50mg |
| 垂直分辨率 | 0.05nm满量程 |
| 扫描分辨率 | 10nm |
| 扫描速度 | 5μm/s-100μm/s |
| 扫描最大采集点数 | 200万点 |
| 软件功能 | 台阶、粗糙度、平整度和翘曲度测量 |
30天
1年
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到货后3天内
1小时内
2天内
是
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