法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统 SSDR 400

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品牌

埃斯科

型号

SSDR400

产地

欧洲法国

应用领域

暂无

南通宏腾微电子技术有限公司

营业执照已认证

银牌会员
第2年
一般经销商

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产品详情

描述

SSDR400是专门为生产而设计的微波等离子体辅助CVD (MPCVD)反应器，专门用于金刚石膜和宝石合成。由915 MHz发生器激发的高功率密度等离子体和大型衬底固定器的组合，确保任何CVD金刚石薄膜种植者在保持低投资成本的同时显着提高其生产能力。SSDR400按照高质量标准设计和制造，可以生产从高纯度到极高纯度的任何种类的钻石。由此产生的产品适用于实验室生长钻石市场的所有部门。

优点:

通用的平台

工艺稳定性、可重复性、可靠性、长工艺兼容性(2-3周)

高功率密度等离子体(915 MHz, 36 kW)

温度控制

Ø158 mm基板级包括z轴运动

售后服务

产品货期： 200天

整机质保期： 1年

培训服务：安装调试现场免费培训

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