ALPHA 等离子去胶机Q240

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品牌

Alpha Plasma

型号

Q240

产地

欧洲德国

应用领域

暂无

上海麦科威半导体技术有限公司

营业执照已认证

银牌会员
第1年
一般经销商

Q 240

典型应用：等离子去胶，适合大批量生产，也适合于研发、实验室和小批量生产。• 去除光刻胶• 干刻或湿刻处理前或后• SU-8或其他环氧基树脂• MEMS制造中去除牺牲层

技术规格：

•等离子源：2.45Ghz微波等离子源，1200W
•腔体：石英.φ240mm，长460mm，21L

适用于Wafer最大200mm（8英寸）批量生产

•外观尺寸：长760mm，宽775mm，高775mm
•处理气体：3路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门：抽屉式门+观察窗

•温控Wafer Chuck

•观察窗：UV与微波屏蔽保护
•GUI 10.4"触摸屏，Window CE操作系统

选项：
•进口干泵系统（含相关附件）

•法拉第笼

•石英舟

•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•包装，运输

Q 240

技术规格：

•等离子源：2.45Ghz微波等离子源，1200W
•腔体：石英.φ240mm，长460mm，21L

适用于Wafer最大200mm（8英寸）批量生产

•外观尺寸：长760mm，宽775mm，高775mm
•处理气体：3路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门：抽屉式门+观察窗

•温控Wafer Chuck

•观察窗：UV与微波屏蔽保护
•GUI 10.4"触摸屏，Window CE操作系统

选项：
•进口干泵系统（含相关附件）

•法拉第笼

•石英舟

•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•包装，运输

Q 240

技术规格：

•等离子源：2.45Ghz微波等离子源，1200W
•腔体：石英.φ240mm，长460mm，21L

适用于Wafer最大200mm（8英寸）批量生产

•外观尺寸：长760mm，宽775mm，高775mm
•处理气体：3路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门：抽屉式门+观察窗

•温控Wafer Chuck

•观察窗：UV与微波屏蔽保护
•GUI 10.4"触摸屏，Window CE操作系统

选项：
•进口干泵系统（含相关附件）

•法拉第笼

•石英舟

•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•包装，运输

Q 240

技术规格：

•等离子源：2.45Ghz微波等离子源，1200W
•腔体：石英.φ240mm，长460mm，21L

适用于Wafer最大200mm（8英寸）批量生产

•外观尺寸：长760mm，宽775mm，高775mm
•处理气体：3路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门：抽屉式门+观察窗

•温控Wafer Chuck

•观察窗：UV与微波屏蔽保护
•GUI 10.4"触摸屏，Window CE操作系统

选项：
•进口干泵系统（含相关附件）

•法拉第笼

•石英舟

•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•包装，运输

Q 240

技术规格：

•等离子源：2.45Ghz微波等离子源，1200W
•腔体：石英.φ240mm，长460mm，21L

适用于Wafer最大200mm（8英寸）批量生产

•外观尺寸：长760mm，宽775mm，高775mm
•处理气体：3路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门：抽屉式门+观察窗

•温控Wafer Chuck

•观察窗：UV与微波屏蔽保护
•GUI 10.4"触摸屏，Window CE操作系统

选项：
•进口干泵系统（含相关附件）

•法拉第笼

•石英舟

•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•包装，运输

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ALPHA 等离子去胶机Q240信息由上海麦科威半导体技术有限公司为您提供，如您想了解更多关于ALPHA 等离子去胶机Q240报价、型号、参数等信息，上海麦科威客服电话：400-860-5168转6289，欢迎来电或留言咨询。