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μEDX大幅度地提高了传统的X射线荧光光谱仪无法完成的微小领域分析的灵敏度。配备新开发的X射线集束毛细管透镜，实现了最小分析直径达50μm的微区测定，适合半导体/电子部件/食品领域等高灵敏度、高分辨率分析。
技术参数：
●测定原理 x射线荧光分析发法 ●x射线管 Rh耙
●测定方法能量散射型 ●检测器Si(Li)半导体检测器
●测定对象固体、液体、粉体 （μEDX-1200，1300），Si漂移半导体
●测定范围13AI~92U（μEDX-1200） 检测器（μEDX-1400）
11Na~92U（μEDX-1300） ●样品形状最大150mmх150mmх40mmH
13AI~92U（μEDX-1400）
主要特点：
· 采用岛津独创的Ｘ射线聚光透镜[集束毛细管透镜]，X射线只照射样品的50μmφ微小领域，实现高灵敏度、高精度分析。
· 可以在大气中进行从轻元素到重元素(Na～U：μEDX-1300；Al～U：μEDX-1200/ 1400)的分析。
· 配备双CCD(高倍率,低倍率)摄像头，可以在观察样品图像的同时方便地决定分析位置，进行分析。
· 标准配备无标样定量FP法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜FP法以及可以测定聚合物薄膜的背景基本参数（BG-FP）法。
· 作为微区Ｘ射线荧光光谱分析装置，在世界上率先配备了5种1次Ｘ射线滤光片自动交换机构，可消除来自Ｘ射线管的特征Ｘ射线，提高信噪比。
· 配备多元素同时/自动扫描成图功能。采用高速扫描成图，在短时间内便可获得图像(μEDX-1200/1300)。追加透射观察单元(选购)，也可进行透射Ｘ射线的同时测定。
· 配备电子冷却式高计数率检测器。无需液氮，可进行高精度分析。
(μEDX-1400)
· 可轻松地进行电子材料/部件的镀层膜厚測定、异物检测、失效解析及成图分析。
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