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能量散射型微区X射线荧光光谱仪

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品牌

岛津

型号

μEDX-1200/1300/1400

产地

亚洲日本

应用领域

暂无
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仪器简介:

μEDX大幅度地提高了传统的X射线荧光光谱仪无法完成的微小领域分析的灵敏度。配备新开发的X射线集束毛细管透镜,实现了最小分析直径达50μm的微区测定,适合半导体/电子部件/食品领域等高灵敏度、高分辨率分析。



技术参数:

●测定原理 x射线荧光分析发法     ●x射线管 Rh耙
●测定方法能量散射型         ●检测器Si(Li)半导体检测器
●测定对象固体、液体、粉体      (μEDX-1200,1300),Si漂移半导体
●测定范围13AI~92U(μEDX-1200)    检测器(μEDX-1400)
      11Na~92U(μEDX-1300)    ●样品形状最大150mmх150mmх40mmH
      13AI~92U(μEDX-1400)



主要特点:

· 采用岛津独创的X射线聚光透镜[集束毛细管透镜],X射线只照射样品的50μmφ微小领域,实现高灵敏度、高精度分析。
· 可以在大气中进行从轻元素到重元素(Na~U:μEDX-1300;Al~U:μEDX-1200/ 1400)的分析。
· 配备双CCD(高倍率,低倍率)摄像头,可以在观察样品图像的同时方便地决定分析位置,进行分析。
· 标准配备无标样定量FP法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜FP法以及可以测定聚合物薄膜的背景基本参数(BG-FP)法。
· 作为微区X射线荧光光谱分析装置,在世界上率先配备了5种1次X射线滤光片自动交换机构,可消除来自X射线管的特征X射线,提高信噪比。
· 配备多元素同时/自动扫描成图功能。采用高速扫描成图,在短时间内便可获得图像(μEDX-1200/1300)。追加透射观察单元(选购),也可进行透射X射线的同时测定。
· 配备电子冷却式高计数率检测器。无需液氮,可进行高精度分析。
(μEDX-1400)
· 可轻松地进行电子材料/部件的镀层膜厚測定、异物检测、失效解析及成图分析。

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