GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪专门为在基底上镀金属膜(如金、铂、铟、银等)而设计,最大放置样品尺寸直径为40mm,膜厚可达300?,特别适用于为SEM样品镀金而作为导电极。
主要特点
1、可以调节电流大小,可设置溅射时间。
2、已经过CE认证。
技术参数
1、输入电源:208V-240V 50Hz/60Hz
2、样品台:Φ60mm,高度可调节
3、石英腔体:Φ100mm×130mm
4、进气口:内部装有阀门,可以向腔体内通入各种气体
5、靶材:纯度为4N的金靶,Φ57mm×0.12mm
产品规格
尺寸:480mm×320mm×150mm
重量:20kg
可选配件
1、Au(Φ57mm×0.12mm,4N)
2、Pt(Φ57mm×0.12mm,4N)
3、Ag(Φ57mm×0.5mm,4N)
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