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- 真空旋片泵
- ≥4 m3/h
- ≤2 Pa
- 5-10 Pa
- ≤3 min
- 皮拉尼真空计
- φ120*120mm，石英玻璃
- φ50*0.1-2mm
- 磁控DC溅射电源Max. 20W
- 程序控制，1-600s
- 触摸屏控制，一键式操作
- ≤500W
采用旋片泵快速产生一个 < 2 Pa的真空压强，通常抽真空时间小于1 分钟。采用磁控溅射技术，以大幅度减少等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于灯丝或台式SEM 电镜样品的喷金、喷铂等贵金属镀膜用途。外型紧凑，触摸屏控制，即插即用。
选配旋转/偏转样品台，适用于3D立体和空隙样品内/外表面均匀镀膜需求。
售后服务
1年
是
有
5人次以内培训
6个月一次
免费维修更换零件
24小时到达现场并维修
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