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仪器简介：
主要特点：
LEICA BAL-TEC EMSCD500 高真空镀膜仪具备多种镀膜功能,如金属溅射镀膜/ 金属热阻蒸发镀膜/ 碳棒热阻蒸发镀膜/碳丝热阻蒸发镀膜能满足高分辨率FE-SEM的镀膜要求。
通过金属溅射和蒸发方式，可对样品表面进行均匀的金属镀膜，实现非导电样品的导电处理，适宜于SEM观察；通过碳棒蒸发镀膜，可对样品表面进行蒸镀均匀的碳膜，实现非导电样品的导电处理，适宜于SEM观察及能谱/波谱分析，或者为铜网表面覆碳支持膜。
镀膜功能：金属溅射镀膜/ 金属热阻蒸发镀膜/ 碳棒热阻蒸发镀膜/碳丝热阻蒸发镀膜
具有氩气冲洗功能
内置有高电压蚀刻/清洁功能
带有预溅射遮挡
具有膜厚监控器，可精确控制膜厚，可根据设定的喷金和喷碳镀膜厚度/镀膜时间反控主机
主要特点：
内置的隔膜泵和涡轮分子筛泵系统提供真空无油的制样环境
操控简单容易
可以选用各种金属标靶
可扩充冷冻应用,兼容VT100真空冷冻传送系统
典型用户
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 南京工业大学材料化学国家重点实验室 | 2011-12-01 |
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