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落地式/传统大型
热场发射
国产
1 ~ 2,500,000 x
20 V ~ 30 kV
五轴机械优中心样品台，X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm，T: -10°~+70°，R: 360°
镜筒内电子探测器，旁侧二次电子探测器（ETD），插入式背散射电子探测器(BSED) ，插入式扫描透射探测器（STEM）
创新点
国仪量子超高分辨场发射扫描电镜SEM5000X
SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜，其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术（SuperTunnel）以及镜筒工艺升级，实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓，扩展接口增加至16个，快速换样仓最大支持8寸晶圆（最大直径208 mm），极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强，带来了更强的性能和更好的体验。
产品优势
超高分辨率成像，达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景
高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响
最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求
应用案例
产品参数
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SEM5000X在分子筛研究中的应用石油/化工 2024-08-23
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同样都是纸，区别有多大？国仪量子扫描电镜带你一探究竟材料 2024-06-19
1年
是
有
现场技术培训和年度系统培训
根据合同约定
非人为损坏免费上门维修，部件免费更换，消耗品除外
24小时全天候响应，确保国内客户24小时内给予明确解决方案，48小时内到场维修
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