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速普仪器【SuPro】薄膜应力测量仪FST5000 60万深圳市速普仪器有限公司
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FSM128非接触薄膜应力测试 30万 - 50万赛伦科技
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CV仪/汞探针(美国四维公司)Four Dimensions,Inc.(4D) 10万 - 30万赛伦科技
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美国Mactronix硅片倒片机(半导体FAB专用) 30万 - 50万赛伦科技
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