直流电源/异常放电防止器A2K

参考价：面议

型号：	DCS系列,DPG系列
产地：	日本
品牌：
评分：

核心参数

配套仪器：质谱仪专用

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产品详情

日本ULVAC公司生产的DC电源,除用于AL,Ni等DC磁控溅射外,组合异常放电防止器A2K使用,可脉冲正向电压

对SiN,DLC等反应性DC溅射工艺.中和其靶材表面电荷.消除灭弧,保证高速成膜.还可以作为偏压电源使用.

针对已成型溅射工艺设备.进行加装及更换均可.实现低成本的前提下增加产量,保证成品率.

DCS系列,DPG系列的型号参数:

型号 DCS0052B DCS0202B DCS0402B DPG-10 DPG-10H DPG-20 DPG-20H DPG-30R

额定功率 500W 2KW 4KW 10KW 10KW 20KW 20KW 30KW

最大输出电压 800V 同左同左同左 1000V 800V 1000V 1200V

最大输出电流 1.25A 5A 10A 25A 16.7A 50A 33.3A 55A

无负荷电压 -1100V以上〃〃〃〃〃〃〃

输入电压 95~121V单相 190~242V3相 AC208V 同左同左同左同左 AC380V~480V

190~242V单相

使用温度范围 0~40度同左同左 10~40度同左同左同左同左

使用湿度范围 0~90% 同左同左 0~90% 同左同左同左同左

控制器内置同左同左同左同左同左同左选项.

并联最大功率独立同左同左最大12台(总功率120~240KW) 240KW

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