射频电源及匹配器

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核心参数

交直交稳压电源

电子枪

电子枪电源

产品详情

日本ULVAC公司目前生产的射频RF电源RFS-N系列,

包括RFS-1305N输出500W,RFS-1310N输出1KW两种.

频率为13.56MHz.配备高效RF放大器,小型化轻量化.

内藏有自动匹配控制,通过分体式操作面板,

既可控制功率输出及匹配.自动计算异常反射CUT时间,快速遮断电弧重启.

特长:

1. 采用频率13.56MHz高效放大器.通过高效功率变换电路节省能源.

2. 通过高速匹配步进电机控制变速.

3. RF电源内藏自动匹配控制,通过一个标配控制器既可操作控制电源及匹配器.

4. 高速自动匹配,速度快.可匹配覆盖范围广.

5. 平稳实现外部模拟控制,串行通信控制.电源本体与触摸屏呈分体式

6. 两台同时工作时,可三百六十度调整相位.

7. 强制空冷.

参数:

射频电源本体

型号 RFS-1305N RFS-1310N

输入 AC180V~240V单相 AC180V~240V单相

输入容量 1.2kVA以下 2.0kVA以下

振动频率 13.56MHz±0.05% 13.56MHz±0.05%

最大进行波输出 500W 1000W

最大反射波电力 100W 100W

线性额定输出±2%以下额定输出±2%以下

外形尺寸 240Wx500Dx150H 240Wx500Dx150H

质量 12kg以下 12kg以下

匹配器

型号 MBX-1305N MBX-1301N

电大允许电力 500W 1000W

输出阻抗 R:0.5Ω≦R≦10.0Ω R:0.5Ω≦R≦10.0Ω

冷却方式强制空冷强制空冷

外形尺寸 375Wx250Dx170D 375Wx250Dx170D

质量 10kg 10kg

耐电流 40A 40A

耐电压 2.5kV(0-peak) 2.5kV(0-peak)

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