型号: | Filmetrics R50 |
产地: | 美国 |
品牌: | KLA |
评分: |
|
名称:四探针电阻测量仪
图片:
品牌:KLA 集团旗下品牌 Filmetreics
型号:R50
用途:金属膜均匀性分布、离子掺杂和注入表征、薄膜厚度和电阻率分布、以及非接触膜厚等量测。
优势 :
1)接触式四点探针(4PP)和非接触式电涡流(EC)
2) 100mm Z行程,高精度控制
3)导体和半导体薄膜电阻,10个数量级范围适用
4)测试点自定义编辑,包括矩形、线性、极坐标 以及自定义配置
5)200mm XY电动平台
6)RSMapper软件灵活易用
7)兼容KLA所有电阻测试探针
应用市场:
1)半导体
2)化合物半导体
3)先进封装
4)平板和VR显示
5)印刷电路
6)穿戴设备
7)导电材料
8)太阳能
相关产品
关注
拨打电话
留言咨询