四探针电阻测量仪
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四探针电阻测量仪

参考价:¥10万 - 50万
型号: Filmetrics R50
产地: 美国
品牌: KLA
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核心参数
新耕(上海)贸易有限公司
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产品详情

名称:四探针电阻测量仪

图片:R50-4PP.JPG

品牌:KLA 集团旗下品牌 Filmetreics

型号:R50

用途:金属膜均匀性分布、离子掺杂和注入表征、薄膜厚度和电阻率分布、以及非接触膜厚等量测。


优势 :

1)接触式四点探针(4PP)和非接触式电涡流(EC)

2) 100mm Z行程,高精度控制 

3)导体和半导体薄膜电阻,10个数量级范围适用 

4)测试点自定义编辑,包括矩形、线性、极坐标 以及自定义配置 

5)200mm XY电动平台 

6)RSMapper软件灵活易用 

7)兼容KLA所有电阻测试探针


应用市场:

1)半导体 

2)化合物半导体 

3)先进封装

4)平板和VR显示 

5)印刷电路 

6)穿戴设备 

7)导电材料

8)太阳能

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