光学轮廓仪
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光学轮廓仪

参考价:¥10万 - 20万
型号: Fimetrics P3D
产地: 美国
品牌: KLA
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核心参数
新耕(上海)贸易有限公司
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产品详情
产品简介:

P3D光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。P3D的白光干涉仪可以埃级分辨率对表面进行高分辨率测量。 该系统支持相位和垂直扫描干涉测量,两者都是传统的相干扫描干涉技术(CSI)。

P3D测量技术的优势在于测量的垂直分辨率与物镜的数值孔径无关,因而能够在大视野范围内进行高分辨率测量。测量区域可以通过将多个视场拼接为同一个测量结果而进一步增加。 P3D的用户界面创新而简单,适用于从研发到生产的各种工作环境。





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