日本Ushio 公司是全球领先的半导体光刻设备光源供应商,占有最大份额。 特点: ◆生产工艺精湛; ◆产品稳定性高; ◆具有长寿命高光强维持率。 应用: ◆ASML、CANON、Ultratech、Nikon等大型光刻机; ◆Suss、NXQ等小型光刻机。
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