半自动晶圆厚度测量仪 MX 204

参考价：面议

型号：	MX 204
产地：	德国
品牌：	E+H Metrology
评分：

核心参数

产地类别：进口

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产品详情

半自动晶圆厚度测量仪 MX204系列

产品简介：

MX204系列半自动晶圆厚度测量仪，用于测量直径为2寸、3寸、4寸、5寸、6寸、8寸、12寸晶圆的厚度、平整度TTV、弯曲度Bow、翘曲度Warp、应力等晶圆参数。

测量原理：

MX204系列采用电容测量原理，晶圆上下各有若干对平行的电容测厚传感器，通过测量电容器电容变化计算晶圆厚度，及晶圆上下表面距离电容器的距离，进而得到晶圆的厚度、平整度TTV、弯曲度Bow、翘曲度Warp、应力等晶圆参数。

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主要技术参数

1）晶圆直径：100mm, 125mm, 150mm, 200mm

2）厚度精度：±0.5 µm ~ ±1 µm±1 µm

3）分辨率：75 nm ~ 1.0µm

4）厚度范围：100-1000 µm

5）自动晶圆：半自动

应用：

SIC, Si, GaN, GaAS, InP等半导体晶圆的高分辨率厚度，TTV，弯曲度和翘曲度，平整度，以及应力的测量。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训