方案摘要
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使用单颗粒光学传感 （SPOS） 技术的颗粒计数器和粒度分析仪。具有多种配置可选，但所有系统都包括SPOS传感器，脉冲高度分析仪（或计数器）和样品流通池，用于通过传感器传输样品。许多样品流通池自动将样品稀释至最佳浓度，以获得最准确的结果。在多达 1024 个粒径通道中报告粒径分布信息。
为什么购买AccuSizer颗粒计数系统？
有太多理由让您的下一个粒度分析仪选择AccuSizer®系统
什么是ACCUSIZER系统
使用单颗粒光学传感 （SPOS） 技术的颗粒计数器和粒度分析仪。具有多种配置可选，但所有系统都包括SPOS传感器，脉冲高度分析仪（或计数器）和样品流通池，用于通过传感器传输样品。许多样品流通池自动将样品稀释至最佳浓度，以获得最准确的结果。在多达 1024 个粒径通道中报告粒径分布信息。
图 1. 0.5 – 10um之间区分6个粒径峰
它不是什么？
这不是像激光衍射那样需要RI等物理特性和复杂的反卷积算法的集成技术。粒子直接定量并一次计数一个，提供比光散射技术更准确和更高分辨率的结果。
这种技术的主要好处是什么？
• 准确性
—直接测量每个颗粒
• 浓度
—出具准确的颗粒/mL 结果
• 分辨率
—无分布增宽
— 将多个峰与基线区分（图1）
— 检测少量的尾部颗粒
图2.LE400传感器/计数器图
在许多行业中，尾部颗粒检测至关重要。如果主峰之外的几个大颗粒对产品性能有害，为什么不使用对大颗粒计数（LPC）具有最高灵敏度的技术呢？AccuSizer SPOS系统在检测少量尾部颗粒分布方面优于激光衍射。AccuSizer SPOS系统集成了许多独特的技术，包括：
• 自动稀释、一步稀释和多步稀释。
• 传感器技术
—消光+散射LE传感器
—聚焦光束 FX Nano 传感器，检测下限低至 150 nm
• 根据您的流程定制的在线系统（AccuSizer Mini FX系统，图3）
目前谁正在使用ACCUSIZER SPOS系统？
AccuSizer SPOS系统是检测CMP研磨液尾部颗粒的行业标准。制药行业使用 AccuSizer 系统检测脂肪乳中的大颗粒 （PFAT5）、USP <788> 测试和蛋白质聚集研究。喷墨墨水等等，不胜枚举，在全球范围内的各行各业有数千台安装。
图3. AccuSizer Mini FX系统。
ACCUSIZER SPOS 系统精确度？
创建粒度分布的最准确方法是单独测量每个颗粒。AccuSizer系统对通过传感器检测区域的每个颗粒进行粒径检测和计数，并一次构建一个颗粒的分布。这将创建准确、高分辨率的结果。图4显示了通过45μm筛网的样品。蓝色的线是AccuSizer SPOS系统测试结果，其清楚地显示了尾端断崖式的分布，而红色的线是激光衍射结果，其显示了广的粒径分布曲线，包括不存在的>100μm的颗粒。
图4.AccuSizer系统一次构建一个颗粒的分布，提供准确的结果。
一项针对微电子行业发表的研究1显示了AccuSizer SPOS系统与其他技术相比，其灵敏度和分辨率的表现。在二氧化硅、氧化物CMP研磨液体中加入在1 μm SiO2颗粒，测试不同技术在识别出1 μm SiO2颗粒能力的表现。据报道，AccuSizer系统的检测限为0.07 mg/mL，而激光衍射技术的结果（C）为100 mg/mL，相差1428X（图5）。
图5.SiO2颗粒检测研究。
颗粒浓度衍射分布
图 6a.AccuSizer 系统对加标了CMP的测试结果。
粒度分布
图 6b.激光衍射对加标CMP的测试结果。
在2013年进行的一项研究中，我们用1.36μm PSL标准品加标至二氧化硅CMP研磨液，以确定检测到尾部大颗粒所需的浓度。当将 3.4 μL PSL 注入 250 mL 原液 CMP 研磨液中时，AccuSizer FX（POU） 系统可以检测第二个群体峰（图 6a）。2
图6b显示了采用激光衍射仪的方式首次检测加标峰的数据，360 μL加标到4.3 mL原液CMP研磨液中。这表明SPOS和激光衍射法的检测限差异为 615X。另外请注意，当激光衍射结果最终检测到加标峰的存在时，它拓宽1.36μm PSL标准分布。
引用
1 Nichols, K., et. al., Perturbation Detection Analysis: A Method for Comparing Instruments That Can Measure the Presence of Large Particles in CMP Slurry, report published by BOC Edwards, Chaska, MN
2 Detecting Tails in CMP Slurries, Entegris, August 2019 https://www. entegris.com/content/dam/product-assets/accusizerspossystems/appnote-detecting-tails-cmp-slurries-10527.pdf
文献贡献者
探索纳米世界-Pickering乳液与粒度分析技术
湿法珠磨制备米诺地尔纳米颗粒实现高效靶向毛囊
用于 CMP 浆料的 AccuSizer系统
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