方案摘要
方案下载| 应用领域 | 半导体 |
| 检测样本 | 其他 |
| 检测项目 | |
| 参考标准 | 铱金薄膜、紫外/可见分光光度计、镜面反射 |
薄膜厚度对涂层的性能，特别是薄膜和超薄薄膜的性能至关重要。因此，采用非常精确和无损的方法来表征此类薄膜是非常重要的。薄膜厚度的光学测定方法具有非接触、无损、快速、准确、灵敏、重现性好等优点。在本应用说明中，我们使用FR工具测量金属薄膜和超薄薄膜的厚度。
薄和超薄金属薄膜的厚度测量
简介：薄膜厚度对涂层的性能，特别是薄膜和超薄薄膜的性能至关重要。因此，采用非常精确和无损的方法来表征此类薄膜是非常重要的。薄膜厚度的光学测定方法具有非接触、无损、快速、准确、灵敏、重现性好等优点。在本应用说明中，我们使用FR工具测量金属薄膜和超薄薄膜的厚度。
方法和手段：研究样品是在硅片表面镀上铱和金的薄膜。这些薄膜是用标准溅射工具在很宽的厚度范围内沉积的。利用FR-pRo紫外/可见分光光度计，在280-700nm的光谱范围内对薄膜进行了镜面反射测量。
结果：在紫外/可见光谱范围内，金属呈现高吸光度，可测量的最大膜厚为几十纳米的材料。例如，一些金属的最大膜厚在下表中给出。
结论：用FR工具成功地测量了Si表面超薄金属层和薄金属层的厚度。利用XRR技术对厚度测量结果进行了鉴定。FR工具是一种经济、无损的测量超薄金属薄膜厚度的方法。
FR的工具基于白光反射光谱(Reports) 。
准确同步的厚度测量及薄膜的折射率
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